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深紫外多层反射镜

更新时间:2017-07-05

简要描述:

深紫外反射镜特别适用于关键器件的实验性参数,例如阿秒脉冲的产生或者其他的实验。我们的设计技术和应用经验可以在客户开始计划的时候就提供支持。实现深紫外和软X射线需要安排几十至几百层的纳米级厚度的膜层,这些膜层有着原子级的光滑界面和亚纳米级的膜层控制。这对多层沉积工艺有着很高的要求,而我们的镀膜设备可以满足。

应用:

  • 单次高谐振的滤波
  • 低至100as的HHG脉冲的滤波
  • 相干HHG辐射的微聚焦
  • 深紫外分光计和干涉计

深紫外多层反射镜的物理原理是基于多层金属和非金属膜层的深紫外散射光的干涉。

目前容易实现的范围是中心能量带在30-200eV。以下是一个深紫外反射镜在中兴能量92eV下测得的反射率。

一定的中心能量能得到的zui大反射率和带宽可以通过下图模拟。

特别是波长范围在50-100eV的宽度反射镜都适合产生隔离的阿秒脉冲。通过我们的深紫外反射镜,客户可以实现zui短的脉冲(持续时间在80阿秒)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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