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Nanocalc 系列膜厚测量仪

更新时间:2016-03-15

简要描述:

Nanocalc 系列膜厚测量仪NanoCalc-2000是一种用户可配置的膜厚测量系统,它利用分光光谱反射仪来精确地测量光学或非光学薄膜厚度,可广泛用于半导体、医疗和工业生产中。

Nanocalc系列膜厚测量仪的原理:

利用白光干涉测量法的原理,NanoCalc-2000用一个宽光谱的光源来测得不同波长的反射数据,由于反射率n和消光系数k随膜厚的不同而变化,NanoCalc-2000根据这一特性来进行曲线拟合从而求得膜厚。在NanoCalc-2000中,不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述,从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。

Nanocalc系列膜厚测量仪的特点:

  • UV/VIS/NIR高分辨率的配置
  • 测量准确度在1nm,精度在0.1nm
  • 可测量4层薄膜的任意3层
  • 薄膜测量zui小可至10nm,zui大可至400um
  • 可测量zui小1nm厚的透明金属层
  • 提供用于复杂外形材料测量的试验台及附件
  • 对表面缺陷和光滑度不敏感
  • 庞大的材质数据库,保证各种材料的精确测量

NanoCalc-2000-UV/VIS/NIR膜厚测量仪的技术参数:

 

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