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SPECEL系列椭偏仪

更新时间:2016-03-15

简要描述:

SPECEL系列椭偏仪SPECEI-2000是一款应用椭圆偏光原理的台式薄膜测量系统,适用于平面多层膜厚测量,如晶片、玻璃片等。分光椭偏仪可以测量光的多层反射,除了强度之外,也可以测量相对的相位和振幅变化,利用这种技术可以同时对多种参数进行测量。

SPECEL系列椭偏仪和常规椭偏仪相比,SPECEL系列椭偏仪要便宜一半左右,并且还具有以下特点,系统集成了光源、导光器件,可旋转的偏光镜、样品台、CCD阵列光谱仪等器件,其光源入射角设定在70°,但用户可根据需要设定为65到75°,整套仪器想当小巧,尺寸仅为52cm*33cm*24cm。

的特点:

膜厚准确度在1nm,精度在0.1nm
可测量多达25层膜厚
每层膜厚可从0.1nm至8um,450-900nm的光谱范围
光斑大小为2mm*4mm,光学分辨率为200um*400um
适合于平面半透明的材料测量,如晶片、玻璃、薄膜和金属箔等
可选项包括2D位移功能,标准晶片等
附带的软件可以非常容易地存储和载入不同的测量组合模式

的技术指标:

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