产品中心您现在的位置:首页 > 产品展示 > 光谱仪 > 等离子体光谱仪 > PLASCALC-2000等离子监控系统

PLASCALC-2000等离子监控系统

更新时间:2023-04-25

简要描述:

PLASCALC-2000 等离子监控系统用于等离子光辐射的实时在线监测,并提供必要的工具来对在线进程进行监控。

PLASCALC-2000等离子监控系统描述

PLASCALC-2000等离子监控系统配有2048像元CCD高分辨率的光谱仪,等离子体光辐射测量范围为200-1100nm,PlasCalc-2000进程控制系统精确可靠,其精密的数据采集和控制算法格外具有优势,对PC的模拟和数字输入输出功能也简化了进程控制过程。PlasCalc-2000及其软件系统在数据采集和信号处理上非常方便,波长、测量模式编辑器可以迅速产生有效的测量模式及各种测量模式的组合,适合于控制系统。

PlasCalc-2000参数

200-1100nm光谱的范围

1.0nm全高半宽分辨率
14位I/O D/A转换
8个TTL数字I/O端口
4个0-10V模拟输出端口
USB1.1接口

参数

多达6通道的宽带光谱数据采集
每个通道都可以独立配置光谱范围
小于0.3nm的光学分辨率
16个TTL数字I/O端口
8个1-10V模拟输出端口
USB2.0接口

应用

通用过程监控
表面清洁过程
保护膜
等离子体刻蚀
等离子室设备健康水平监控
非常规过程处理
多晶硅平整化处理
新的加工过程优化和监控

 

 

    没有相关产品信息...

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
北京征程创拓科技有限公司

北京征程创拓科技有限公司

地址:北京市海淀区上地信息产业基地辉煌国际东6号楼460

© 2024 版权所有:北京征程创拓科技有限公司  备案号:  总访问量:210980  站点地图  技术支持:化工仪器网  管理登陆