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Nanocalc 系列膜厚测量仪的工作原理和特点

发布时间:2015-08-05   点击次数:1007次
 Nanocalc 系列膜厚测量仪的工作原理和特点
   Nanocalc 系列膜厚测量仪的工作原理:
  利用白光干涉测量法的原理,NanoCalc-2000用一个宽光谱的光源来测得不同波长的反射数据,由于反射率n和消光系数k随膜厚的不同而变化,NanoCalc-2000根据这一特性来进行曲线拟合从而求得膜厚。在NanoCalc-2000中,不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述,从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。
  Nanocalc系列膜厚测量仪的特点:
  UV/VIS/NIR高分辨率的配置
  测量准确度在1nm,精度在0.1nm
  可测量4层薄膜的任意3层
  薄膜测量zui小可至10nm,zui大可至400um
  可测量zui小1nm厚的透明金属层
  提供用于复杂外形材料测量的试验台及附件
  对表面缺陷和光滑度不敏感
  庞大的材质数据库,保证各种材料的测量
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