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SPECEL系列椭偏仪的结构原理及特点

发布时间:2015-10-19   点击次数:1607次
SPECEL系列椭偏仪的结构原理及特点
  SPECEL系列椭偏仪是一款应用椭圆偏光原理的台式薄膜测量系统,适用于平面多层膜厚测量,如晶片、玻璃片等。分光椭偏仪可以测量光的多层反射,除了强度之外,也可以测量相对的相位和振幅变化,利用这种技术可以同时对多种参数进行测量。
  SPECEL系列椭偏仪结构组成
  宽光谱光源,导光器件,起偏器,样品台,检偏器,增强光学元件和微型线阵列CCD光谱仪,测量软件。
  SPECEL系列椭偏仪基本原理 椭圆偏光技术是一种非接触式、非破坏性,以光学技术测量表面薄膜特性的方法。当一束偏振光经过物体表面或界面时,其偏振极化状态会被改变。而椭偏仪就是通过探测样品表面的反射光,来测量此改变(即反射光和入射光的振幅及相位的改变量),以决定表面薄膜的光学常数(n, k值)及膜厚。
  SPECEL系列椭偏仪的特点:
  膜厚准确度在1nm,精度在0.1nm
  可测量多达25层膜厚
  每层膜厚可从0.1nm至8um,450-900nm的光谱范围
  光斑大小为2mm*4mm,光学分辨率为200um*400um
  适合于平面半透明的材料测量,如晶片、玻璃、薄膜和金属箔等
  可选项包括2D位移功能,标准晶片等
  附带的软件可以非常容易地存储和载入不同的测量组合模式
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